干法去胶相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

干法去胶相关论文

紫外光／臭氧干法去除光刻胶

本文介绍紫外光/臭氧干法去除光刻胶的工作机理及实验装置;列出这种方法去除三种不同型号的国产负性光刻胶的去胶速率及利用俄歇光......

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紫外光臭氧光刻胶干法去胶 Ultravioletlight Ozone Photoresists Dry depolymerization

氧气流向对等离子去胶的影响

对微晶玻璃和陶瓷上的光刻胶进行去胶工艺,工艺要求采用等离子清洗设备进行非加热干法去胶。由于等离子去胶工艺主要以与聚合有机......

期刊

干法去胶等离子去胶氧气流向

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