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GaAs二维光子晶体的制作及其研究进展
阐述了采用扫描式电子束显微镜、干蚀刻法、微影技术等现代微加工技术制作有序结构二维光子晶体的方法及其研究进展.......
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GaAs二维光子晶体的制作及其研究进展
阐述了采用扫描式电子束显微镜、干蚀刻法、微影技术等现代微加工技术制作有序结构二维光子晶体的方法及其研究进展.......
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干蚀刻法
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