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平板夹具相关论文
基于平板夹具的电子束蒸发沉积薄膜中的挖坑效应分析
电阻加热具有比较好的加热均匀性,可以认为对于非升华性材料,具有比较理想的平面源发射特性n=1。而电子束加热时,通常n=2~3,甚至可......
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薄膜
厚度均匀性
挖坑效应
平板夹具
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