平面内谐振模态相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

平面内谐振模态相关论文

平面内谐振式微悬臂梁生化传感器的设计与制造

给出了一种新型的基于平面内谐振模态的电热驱动微悬臂梁的工作原理和制造方案。相比于传统的平面外谐振模态谐振式悬臂梁,该设计......

期刊

悬臂梁传感器平面内谐振模态品质因数电热驱动液体中谐振 microcantilever sensors in-plane resonance mode q

看过本文同时还关注