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平面热线型气敏元件Pt加热电阻研制
硅片经清洗后,用热氧化法生长SiO〈,2〉,并溅射Pt膜,刻蚀出所需的Pt电阻图形,经热处理,减薄、分割后,作为平面热线型气敏元件加热电阻。通过实验,分......
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