应力退耦模型相关硕士博士期刊学术论文

利用应力退耦模型，分别对多晶硅薄膜晶粒中性区和晶界势垒区的压阻系数进行了理论分析，并推导出多晶硅压阻系数的表达式．实验结果表明......