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开环分布孔相关论文
垂直腔面发射激光器制作新工艺
采用一种新工艺制作了垂直腔面发射激光器(VCSEL),即用开环分布孔取代以往的环形沟道作为氧化物限制技术的注入窗口。因开环分布孔......
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