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开-闭环复合控制相关论文

基底温度复合控制对化学气相沉积纳米金刚石薄膜的影响

采用自主研制的具有基底温度开-闭环复合自动控制系统的直流弧光放电PCVD设备,当开环流量不同时,在硬质合金基体表面分别进行了纳......

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直流弧光放电等离子体化学气相沉积法纳米金刚石薄膜基底温度开-闭环复合控制

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