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超声电机作为一种新型压电驱动器,具备能量密度高、低速大转矩/推力、响应快、定位精度高、无电磁干扰也不受电磁干扰等优点,在许......
压电驱动器(Piezoelectric Actuator)是精密驱动系统的关键元器件,被广泛应用于机器人系统、微机械系统、超精密测量仪器等领域。......