弱硼掺杂补偿相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

弱硼掺杂补偿相关论文

弱硼掺杂补偿对氢化微晶硅薄膜制备与特性的影响

研究了弱硼掺杂补偿对甚高频等离子体增强化学气相沉积方法生长氢化微晶硅薄膜(μc-Si：H)及材料特性的影响．实验发现，随着弱硼补偿剂......

期刊

甚高频等离子体增强化学气相沉积氢化微晶硅薄膜弱硼掺杂补偿 very high frequency PECVD hydrogenated microcryst

看过本文同时还关注