微纳尺度接触行为相关硕士博士期刊学术论文

随着微/纳机电系统（M/NEMS）的日益微型化，表面力（例如表面粘着力和摩擦力等）已成为决定系统性能的重要因素。M/NEMS中存在的严重表面粘......