测量技术正不断向着精密化、智能化、集成化的方向发展，具有代表性的光谱共焦测量技术是在激光共焦显微技术的基础上发展而来，利用色......

随着微机电领域、微光学领域和生物细胞领域的高速发展,精密机械加工、生物细胞观测、光学元件检测、纳米技术等微结构领域受到了......

微纳技术的发展带动了微纳米检测计量仪器的发展,微纳米测量仪器的智能化、集成化和小型化是仪器研发中的共性问题.在白光干涉测量......

研究表明,当微纳测头的尺度达到纳米级或微米级时,测头与测量表面间的微观表面作用力会对测头产生显著影响,因此,本文围绕微观表面......

针对微纳尺度三维扫描电子显微镜(3D SEM)形貌测量方法的配套算法缺失,严重限制其应用的问题,提出了基于视差—深度映射的微纳尺度......

根据微纳米三维测量的发展和研究现状，首先归纳了三维微纳米测头的技术要求并进行分类，然后对国内外微纳米CMM测头的研究进展进行了......

根据目前微球球度测量技术的原理,首先将其分为接触式测量和非接触式测量,其中非接触测量主要分为光学图像测量法和激光干涉测量法......

ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......

激光散斑干涉(又叫电子散斑干涉,ESPI)是一种非接触的光学无损测量方法。广泛应用各种材料和结构的位移、变形、应力应变、表面粗......