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用MWECR CVD系统制备具有非晶/微晶两相结构的硅薄膜研究
用微波电子回旋共振化学气相沉积(MWECRCVD)系统制备了具有非晶/微品两相结构的硅薄膜,研究了沉积温度和沉积压力等对制备微晶硅薄膜的......
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微品硅
MWECR CVD system
crystalline volume fraction
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