微型薄膜锂离子电池相关论文
MEMS技术的发展对微能源的微型化和集成化提出更高的要求，希望将微能源直接集成在微器件当中。在此背景下，微型薄膜锂电池因其高能量......
研究了掺杂Cu的Sn的氧化物薄膜,它可以作为微型薄膜锂电池负极材料。这种薄膜是采用磁控溅射的方式,在硅基底上沉积了SnOx和金属Cu......
