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微小质量检测相关论文
基于纳机电系统的微小质量检测方法研究
随着微机械加工技术的提高,NEMS走进人们的视野。NEMS在计量学、基础科学、生物医疗等方面的潜力极大增加了研究人员对纳米器件的......
学位
NEMS
谐振器
微小质量检测
静电驱动
压阻检测
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