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微差压压力传感器相关论文
低量程电容式压力传感器及相关技术研究
基于MEMS(微电子机械系统)加工技术制作的传感器成本低廉、集成度高、可靠性好。相对目前已经商业化的压阻式传感器而言,电容式传感器......
学位
微电子机械系统
微差压压力传感器
可动薄膜
复合薄膜
伺服
结构
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