微晶硅(μc-Si:H)薄膜相关硕士博士期刊学术论文

微晶硅(μc-Si:H)薄膜相关论文

利用射频等离子体增强化学气相沉积（RFPECVD）技术，通过改变SiH4浓度制备了一系列不同晶化率（Xc）的本征Si薄膜材料。通过测量其Raman谱和......

期刊