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微杠杆机构相关论文
柔性机构尺寸与形状优化新方法及实现
针对 MEMS 复杂器件优化困难的问题,提出了一种柔性机构尺寸与形状优化的新方法。该方法采用遗传算法(GA)与有限元方法(FE)联合的......
会议
微机电系统
柔性机构
微杠杆机构
有限元法
遗传算法
MEMS谐振式加速度计灵敏度提升与量程自适应机制研究
MEMS加速度计具有体积小,重量轻,功耗低,成本低和性能可靠等优势,作为惯性导航系统的核心元件,MEMS加速度计已被广泛应用于消费电......
学位
谐振式加速度计
微杠杆机构
双轴加速度测量
双工模式倾角测量
高阶模态谐振器
扰动力敏感机理
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