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微槽阵列相关论文
单晶硅微槽阵列微细磨削质量综合评价研究
微阵列结构因其优越的性能被广泛应用于生物医疗、航空工业、电子通信、减阻润滑等领域,随着尖端技术的不断发展,对微阵列结构的三......
学位
单晶硅
微细磨削
微槽阵列
边刃损伤模型
质量综合评价
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