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微氮直接硅单晶相关论文

电子辐照微氮直拉硅单晶的深能级的研究

本文研究了电子辐照在氮保护气氛中生长的直接硅单晶中引入的深能级，没有发现可检测的与氮有关的深能级。......

期刊

电子辐射微氮直接硅单晶深能级 Electron irradiation Slightly N-doped silicon Deep level

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