微波等离子体刻蚀相关论文
采用EACVD法在硬质合金(YG6)刀具衬底上沉积金刚石薄膜,用氢微波等离子体刻蚀的方法对衬底进行表面预处理,研究了该项预处理技术对......
用 EACVD法在硬质合金 ( YG6)刀具上沉积金刚石涂层 ;用氢微波等离子体刻蚀的方法对基底进行表面预处理 ,以期提高金刚石涂层的附......
用ＥＡＣＶＤ法在硬质合金（ＹＧ６）刀具上沉积金刚石涂层；用氢微波等离子体刻蚀的方法对基底进行表面预处理，以期提高金刚石涂层的附着力和涂层刀具的切......
