该论文利用金刚石薄膜具有电阻率高,化学稳定性极好,高温晶体结构稳定,与人体组织的生物相容性好,可以制成薄膜微型器件,便于值入......

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采用微波等离子体CVD(MPCVD)法在YG6硬质合金基体表面沉积金刚石涂层,在金刚石的形核和生长阶段分别采用不同的沉积条件,研究了分......

ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......

介绍了在微波等离子体CVD装置中，用甲烷和氢气作为原料，在非平面基体（如钨丝、钻头、铣刀等）上生长金刚石薄膜的研究。在金刚石沉积过......