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微流体驱动控制相关论文
谐振式MEMS生物传感器系统检测电路设计
文中提出了一种基于MEMS悬臂梁的生物检测系统。针对多通道MEMS悬臂梁阵列传感芯片响应迅速、灵敏度高、输出信号微弱等特点,设计......
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