微热板阵列相关论文
微热板具有尺寸小、功耗低、与CMOS工艺兼容等优点。微热板的出现为研制阵列式集成气体传感器提供了支持。为了实现对混合气体的有......
针对微热板阵列建立了热路模型,并对热干扰进行分析.结果表明,由于微热板悬空结构的热阻比硅芯片的热阻高3个数量级,因此微热板阵......
集成的阵列式的微传感器是当今传感器发展的一个方向,例如广谱气体传感器,该种传感器需要把多个微热板集成在同一个芯片,形成微热......
