制造业是社会经济的主体,在中国制造2025的背景下,制造业对加工工艺和加工精度提出了更高的要求。微机电系统具有微型化、智能化、......

微机电系统（Micro Electro-Mechanical Systems，MEMS）需要其驱动器具有大行程、高精度、高响应速度等特点。由于直线电机无需利用传动......

将微直线电机宏动机构与双晶片压电悬梁微动机构结合,研制高精度、大范围的组合式微夹持器.针对宏微结合的结构形式,设计组合式微......

基于宏微结合的设计思想，提出一种组合式微夹持器结构．采用微直线电机机构实现毫米级的宏运动，采用双晶片压电悬梁机构实现微米级的微......