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微米纳米转变相关论文

沉积气压对金刚石膜微米纳米结构转变的影响

利用热丝化学气相沉积(HFCVD)装置研究不同气压下氩气体积分数对金刚石膜晶粒尺寸的影响,并对不同气压下其微米纳米尺寸转变的临界......

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热丝CVD 金刚石薄膜气压微米纳米转变 hot filament CVD diamond film air pressure micron nanomete

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