微米／纳米技术相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

微米／纳米技术相关论文

现代传感器技术

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微米／纳米技术微电机械系统微机械加工

微机械角速度传感器的研制

文中介绍了一种用于测量运动物体角度速度的微机构角速度传感器，包括其结构组成，工作机理，运动方程，制作工艺以及测试结果。由于其尺寸......

期刊

微机械角速度传感器微米／纳米技术结构

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