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微纳电子材料相关论文
基于纳米压入实验的微纳电子材料力学性能表征技术研究
随着集成电路器件特征尺寸的不断减小,微纳电子材料的力学性能越来越显著地对器件乃至整个电路的可靠性产生重要影响。因此需要一......
学位
纳米力学
纳米压入实验
纳米硬度仪
微纳电子材料
硬度
弹性模量
金刚石微纳电子材料的制备与物性研究
金刚石由于具有众多的优异性能和广阔的应用前景而受到人们的高度重视,特别是各种金刚石微纳电子材料的制备与物性研究已成为近年来......
学位
微纳电子材料
金刚石
化学气相沉积
场发射特性
介电特性
超导特性
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