微纳超精细加工相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

微纳超精细加工相关论文

多层介质膜光谱调制反射镜的反应离子束刻蚀误差容限

在千焦拍瓦高功率放大系统设计中，激光脉冲的时空和光谱整形技术一直受到人们的广泛关注。利用反应离子束刻蚀等微纳超精细加工而成......

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光学器件光谱整形多层介质膜光谱调制反射镜微纳超精细加工误差容限 optical devices spectrum reshaping multilaye

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