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考虑卡西米尔力的微纳镜扭转弯曲耦合模型
为了研究卡西米尔力对静电驱动微纳镜的影响,文章建立了考虑卡西米尔力的微纳镜扭转弯曲耦合模型的归一化参数方程.通过数值解分析......
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微机电
卡西米尔力
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耦合模型
MEMS Carimir force micro-nano-mirror coupling model
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