[摘要]作为产品的微元器件，至今，并不存在合适的器件结构描述方式，随着微加工技术不断进步，微元器件品种的增长极为迅速，结构日趋复杂，在......

文章结合实例,详细介绍了一种分五个层次定义的微细结构描述语言--MSDL(Micro-Structure Description Language).包括集成电路、ME......