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多层初始晶硅薄膜的微观结构及光电导特性分析
采用等离子体增强化学气相沉积技术通过高氢和低氢稀释层交替生长制备出多层初始晶硅薄膜,利用Raman散射、红外吸收、紫外可见吸收......
期刊
多层初始晶硅
微结构有序性
光敏性
protocrystalline silicon multilayermicrostructure orderphotose
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