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微裂纹损伤深度相关论文
SiC单晶线锯切片微裂纹损伤深度及翘曲度有限元分析
SiC单晶是继Si和GaAs后发展起来的第三代宽带隙半导体材料,具有宽带隙、高热导率、高临界击穿场强、抗干扰能力强、化学性质稳定等......
学位
SiC单晶
电镀金刚石线锯
切片
翘曲度
微裂纹损伤深度
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