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微观粒子状态相关论文
直流反应磁控溅射制备ZAO薄膜的工艺及理论研究
该文在综述国内外ZAO薄膜的研究发展概况基础上,采用制备实验研究与理论分析相结合的方法,从生产应用的角度出发,对ZAO薄膜的宏观......
学位
ZAO薄膜
直流反应
磁控溅射
XRD
电阻率
可见光透射率
磁感应强度
微观粒子状态
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