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微纳光纤直写技术研究
本论文在国内外首次提出了利用微纳光纤进行微触式直写曝光的新技术。实验结果表明,微纳光纤直写的分辨率可达350nm,如果是在不充......
学位
微纳制造
亚微米线条
直接写入
微纳光纤
微触模式
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