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性能去中心化技术相关论文
飞法级MEMS电容型传感器读出技术研究
高集成度需求持续驱动制造集成电路的CMOS工艺以及制造传感器敏感单元的MEMS工艺不断地推进尺寸缩微(Scaling-down),以将MEMS传感器......
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MEMS传感器
电容型传感器
飞法级
高精度
读出电路
开关电容电路
性能去中心化技术
OSA技术
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