悬浮分子污染相关论文
阐述了在半导体生产中悬浮分子污染(AMC)的来源和测试方法,介绍了一种新颖的AMC滤材,并与其他滤材进行了性能比较.......
对当前较被关心的问题,如洁净室的气流速度的确定,FFU系统的应用及悬浮分子污染控制,进行情况归纳和分析。......
随着工艺生产技术的不断发展,IC生产对于环境及其他配套系统的要求也相应越来越严格,说到环境首当其冲的是洁净室,8"、12" IC生产......
目前半导体和磁盘驱动器洁净室担心的最大的问题是悬浮分子污染.悬浮的分子污染包括酸、碱、凝聚化合物和搀杂剂,它们导致许多半导......
