针对当前晶圆测试探针常用的两种金属材料镍和钨,采用COMSOL多物理场仿真软件对微机电系统(MEMS)悬臂梁探针在承受20 mN测试力时,......

原子力显微镜已成为人们观测和研究物体微观世界的强有力工具，由悬臂梁与探针集成件组成的力传感器是原子力显微镜的一个关键部件，它......

由悬臂梁与探针集成件（Cantilever stylus）组成的力传感器是原子力显微镜的一个关键部件，固有频率（resonant frequency）是悬臂梁与探针......

传统的磁存储、光存储和半导体存储受到超顺磁效应、衍射现象和最小光刻单元的限制而存在各自的物理极限，基于扫描探针显微术(SPM)......