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成膜压力相关论文
TFT 制程中 SiO2 成膜条件与其平坦度关系的研究
本文以TFT 制程过程中SiO2薄膜平坦度的改善为背景,研究了SiO2制程条件对其平坦度的影响。实验过程中针对成膜参数power,成膜压力,......
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SiO2成膜平坦度
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