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成膜因素相关论文

金刚石膜的六十项性状指标和百项相关成膜因素

为了表征金刚石膜性能的稳定性，本文给出了六十项性状指标和百项相关成膜因素、因果值A、制膜效果作为比较平台。发现沉积腔中气流......

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化学气相沉积金刚石膜性状指标成膜因素 CVD Diamond film Character index Film formation factor

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