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成膜基片相关论文
同一基片上制作两种薄膜方阻的电阻研究
本文介绍了在同一个薄膜基片上,用Cr·SiO材料制作高方阻电阻,用NiCr、Cr·SiO并联的方法制作小方阻电阻.通过实验及可靠性考核,制......
会议
成膜基片
材料制作
薄膜电阻
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高可靠性
混合集成电路
高精度
实验
考核
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并联
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