抗反射亚波长结构相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

抗反射亚波长结构相关论文

锗衬底上反应离子刻蚀制备宽波段红外增透结构的工艺及性能研究

研究了利用反应离子刻蚀技术在Ge衬底上制备宽波段抗反射亚波长结构时工艺参数对刻蚀速率及刻蚀选择比的影响。利用场发射扫描电镜......

期刊

宽波段抗反射亚波长结构反应离子刻蚀刻蚀速率 broad band antireflective sub-wavelength structures rea

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