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抗反射光栅相关论文

红外30μm亚波长抗反射光栅的制作

利用严格耦合波理论设计出亚波长抗反射光栅,并通过等离子体辅助刻蚀制作出了立方状抗反抗光栅.测量结果发现该光栅具有良好的增透......

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亚波长抗反射光栅严格耦合波理论红外技术等离子体辅助刻蚀光栅参数衍射光学元件 EtchingInfrared radiationPlasma appl

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