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一种双光栅干涉位移传感器的研究
随着现代制造朝着高精密方向发展,满足一般实验和生产条件下的低成本、方便实用的高精密位移计量测试手段和测量传感器面临紧迫的......
学位
位移传感器
双光栅干涉
高精度
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