抗真空有机物污染相关硕士博士期刊学术论文

采用溶胶．凝胶法，结合氨水后处理工艺制备了抗真空有机物污染的二氧化硅增透膜。该膜峰值透光率为99．8％，在有机污染的真空系统中（10^-3Pa......