抗等离子冲蚀性相关硕士博士期刊学术论文

在半导体及液晶显示屏的刻蚀制造装备中,高纯氧化铝和高纯氧化钇作为抗等离子冲蚀材料已得到广泛应用.对不同等离子能量下涂层相关......