抛光垫孔隙相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

抛光垫孔隙相关论文

兆声辅助抛光中抛光液分布特性与抛光机理研究

芯片在全球科技领域中具有重要意义,堪称智能设备的“大脑”。而硅片作为芯片的衬底材料,它的表面质量决定着芯片的性能。本文以兆......

学位

兆声振动化学机械抛光硅片抛光垫孔隙抛光液抛光机理

抛光液在兆声振动作用下的流动特性仿真

为研究兆声辅助化学机械抛光中振动对抛光液流体的影响。采用理论分析方法,研究兆声振动在抛光液中产生的声辐射压力,利用有限元分......

期刊

兆声振动抛光垫孔隙抛光液流动特性有限元分析

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