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MEMS微平面构件的空气阻尼效应研究
对垂直于衬底表面运动的微平面构件产生的空气挤压阻尼进行研究.从非线性修正雷诺方程出发,计入稀薄气体效应,建立微平面空气挤压......
期刊
挤压阻尼
稀薄气体
微平面构件
微机电系统
squeezed air-damping gas rarefaction planar micromechanica
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