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光学元件磁流变抛光去损伤加工工艺研究
强光光学系统对应用于其中的光学元件有着苛刻的要求,不仅要求有高的面形精度、低的表面粗糙度及好的空间频率分布等优良的表面质......
学位
磁流变抛光
亚表面损伤
损伤去除
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