接触孔高阻抗缺陷相关硕士博士期刊学术论文

随着半导体制造技术的发展,器件尺寸越来越小,以满足人们对器件高性能和低功耗的要求。尺寸缩小对制造技术提出了巨大挑战,缺陷成......